潔淨等級
1963年,美國潔淨室標準FED-STD-209中,按每立方英尺中≥0.5mm粉塵數量的*允許濃度,將潔淨室分成若幹等級,如100級、10,000級、100,000級。世界上許多國家都加以效仿。
1999年,國際標準化組織ISO頒布了一項國際標準《ISO14644-1潔淨室與受控潔淨環境》*部分:空氣潔淨度分級。標準中采用了新的分級。
2001年,中國新頒布的潔淨室設計標準中采用了ISO分級。
電子工業和製藥業是與潔淨室關係*密切的兩個行業。ISO標準一出現,電子行業立刻改用ISO標準定義的潔淨室級別,而製藥業目前仍沿用老的潔淨級別規定。中國1998年版GMP規範中比前一版增加了個30萬級。